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光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法，该干涉仪包括：光源，小孔光阑，周期相同、方向相互正交的第一光栅、第二光栅的光栅板、具有两个小孔光阑和两个方形光阑的光阑板和探测器。利用本发明光栅剪切波像差检测干涉仪检测待测系统的波像差，可消除差分波前的待测系统几何光程误差，提高待测系统的波像差检测准确度。与在先技术相比，本发明具有以下优点：
1.本发明中无光栅沿光线传播方向的位置...
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